15-3_Chapt_13 Editing Current Carrier Data_sc-c_1st(16)

PB-910操作说明书

（4）指定frame shift量

frame的shift量的尺寸。请输入数值。单位为ｕｍ，刻度值为５ｕｍ。这里rail移动到「frame宽度」「frame shift」的数据对准的位置。rail保持frame宽度移动到内侧。

（5）hole检知方法指定

「hole」中进行frame上hole有无检知的设定。Hole的有无检知设定中，检知frame前端检知后前端检知center的frame的hole的有无，没有指定的结果时，判定为frame指定方向有误，显示error的功能。

第1字段，指定是否进行hole的有无检知，执行时指定hold有无检知的正确结果。通过cyclic切换进行指定，可以从如下3项中选择。

[ OFF ]：不使用hole有无检知功能。

[ POSITIVE ]：frame前端检知后，搬送指定量frame后，检知出有hole时frame方向判定为正确。

[ NEGATIVE ]：frame前端检知后，搬送指定量frame后，检知出没有hole时frame方向判定为错误第2字段，指定frame前端到hole的距离。请输入数值。单位为ｕｍ，刻度值为５ｕｍ。

（6）替换距离的指定

「替换距离」中，指定从ＬＤ侧搬送clamp到ＵＬ侧搬送clamp替换的timing。

在Ｂ’ｇ区域中心到frame前端向ＵＬ侧移动的距离中进行设定。

设定范围为5000～100000um。

标准设定值为40000um，在此状态下可以确保5mm的掌握边界

。

「替换距离」的指定中，可以调整掌握边界。