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十一、2X系列真空泵曲线图
100
6X10
-1
1.3X10
1
2
3
4
Pa2X-70A2X-30A2X-152X-82X-4A
20
抽气速率SL/S
1086421
0.1
-410
10
-3
-2
入口压(Torr)
十二、排除故障