氧,以及工艺过程中玷污的过渡族金属被认为是电池转换效率较低的关键原因,因此关于铸造多晶硅中缺陷和杂质规律的研究,以及工艺中采用合适的吸杂,钝化工艺是进一步提高铸造多晶硅电池的关键。另外,寻找适合铸造多晶硅表面织构化的湿化学腐蚀方法也是目前低成本制备高效率电池的重要工艺。 从固体物理学上讲,硅材料并不是最理想的光伏材料,这主要是因为硅是间接能带半导体材料,其光吸收系数较低,所以研究其他光伏材料成为一种趋势。其中,碲化镉(CdTe)和铜铟硒(CuInSe2)被认识是两种非常有前途的光伏材料,而且目前已经取得一定的进展,但是距离大规模生产,并与晶体硅太阳电池抗衡需要大量的工作去做。 5.晶体硅太阳电池及材料 引言 1839年,法国Becqueral第一次在化学电池中观察到光伏效应。1876年,在固态硒(Se)的系统中也观察到了光伏效应,随后开发出Se/CuO光电池。有关硅光电他的报道出现于1941年。贝尔实验室Chapin等人在1954年开发出效率为6%的单晶硅光电池,现代硅太阳电池时代从此开始。硅太阳电他于1958年首先在航天器上得到应用。在随后10多年里,硅太阳电池在空间应用不断扩大,工艺不断改进,电他设计逐步定型。这是硅太阳电池发展的第一个时期。第二个时期开始于70年代初,在这个时期背表面场、细栅金属化、浅结表面扩散和表面织构化开始引人到电池的制造工艺中,太阳电池转换效率有了较大提高。与此同时,硅太阳电池开始在地面应用,而且不断扩大,到70年代未地面用太阳电池产量已经超过空间电池产量,并促使成本不断降低。 80年代初,硅太阳电他进入快速发展的第三个时期。这个时期的主要特征是把表面钝化技术、降低接触复合效应、后处理提高载流子寿命、改进陷光效应引入到电他的制造工艺中。以各种高效电池为代表,电池效率大幅度提高,商业化生产成本进一步降低,应用不断扩大。 在太阳电他的整个发展历程中,先后出现过各种不同结构的电池,如肖特基(Ms)电池,M1S电池,MINP电他;异质结电池(如ITO(n)/Si(p),a-Si/c-Si,Ge/Si)等,其中同质p-n结电池结构自始至终占主导地位,其它结构对太阳电他的发展也有重要影响。 以材料区分,有晶硅电池,非晶硅薄膜电池,铜钢硒(CIS)电池,磅化镐(CdTe)电池,砷化稼电他等,而以晶硅电池为主导,由于硅是地球上储量第二大元素,作为半导体材料,人们对它研究得最多、技术最成熟,而且晶硅性能稳定、无毒,因此成为太阳电池研究开发、生产和应用中的主体材料。 1 晶硅电他的技术发展 1.1地面应用推动各种新型电池的出现和发展 晶硅电池在70年代初引入地面应用。在石油危机和降低成本的推动下,太阳电池开始了一个蓬勃发展时期,这个时期不但出现了许多新型电池,而且引入许多新技术。例如: (1)背表面电场(BSF)电池——在电他的背面接触区引入同型重掺杂区,由于改进了接触区附近的收集性能而增加电他的短路电流;背场的作用可以降低饱和电流,从而改善开路电压,提高电池效率。 (2)紫光电他一一这种电池最早(1972)是为通信卫星开发的。因其浅结(0.1一0.2µm)密栅(30/cm)、减 反射(Ta2O5—短波透过好)而获得高效率。在一段时间里,浅结被认为是高效的关键技术之一而被采用。 (3)表面织构化电池——也称绒面电池,最早(1974)也是为通讯卫星开发的。其AM0时电池效率η≥15%,AMI时η>18%。这种技术后来被高效电他和工业化电池普遍采用。 (4)异质结太阳电池——即不同半导体材料在一起形成的太阳电池J瞩SnO/Si,In20/Si,(1n203十SnO2/Si电池等。由于SnO2、In2O3、(In2O3+SnO2)等带隙宽,透光性好,制作电池工艺简单,曾引起许多研究者的兴趣。目前因效率不高等问题研究者已不多,但SnO2、In2O3、(1n2O3+SnO2)是许多薄膜电他的重要构成部分,作收集电流和窗口材料用。 (5)M1S电池——是肖特基(MS)电他的改型,即在金属和半导体之间加入1.5一3.0nm绝缘层,使MS电池中多子支配暗电流的情况得到抑制,而变成少子隧穿决定暗电流,与pn结类似。 其中i层起到减少表面复合的作用。经过改进的M1S电池正面有20一40µm的SiO2膜,在膜上真空蒸发金属栅线,整个表面再沉积SiN薄膜。SiN薄膜的作用是:①保护电池,增加耐候性;②作为减反射层(ARC);降低薄膜复合速度:①在p-型半导体