TiO_2_SiO_2复合薄膜的制备及光学性能研究_朱永安

第２５卷第３期２０１３年５月　　　　Ｖｏｌ．２５Ｎｏ．３２１３．５　０嘉兴学院学报　　　　　　　ＪｏｕｒｎａｌｏＪｉａｘｉｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔ　ｆ　ｇ　ｙ·６９·

／１０．３９６９ｉ．ｉｓｓｎ．１００８－６７８１．２０１３．０３．０１３

／ＴｉＯＳｉＯ２２复合薄膜的制备及光学性能研究

朱永安

（）嘉兴学院数理与信息工程学院，浙江嘉兴３１４００１

／／摘　要：采用溶胶－凝胶法制备ＴｉＯＳｉＯｉＯＳｉＯ２２复合薄膜，在Ｔ２２溶胶－凝胶体系中掺杂表面活性剂

十六烷基三甲基溴化铵ＣＴＡＢ，通过简单提拉、迅速蒸发溶剂、后期热处理去除表面活性剂的方法制备出具

／有纳米结构的有机掺杂ＴｉＯＳｉＯＩＲ）研究掺杂薄膜表面的结构特征；利用２２复合光学薄膜．利用红外光谱（

紫外分光光度计ＵＶ－ＶＩＳ－ＮＩＲ研究不同实验条件下制备的复合薄膜吸收透过性的影响；结合椭偏仪和分

／光光度计等手段对实验结果进行测量，研究了在实验室条件下ＴｉＯＳｉＯ２２复合薄膜的性能及制备方法，结果

／表明，实验条件对ＴｉＯＳｉＯ２２复合薄膜的制备非常重要．

／关键词：溶胶－凝胶；ＴｉＯＳｉＯ２２复合薄膜；表面活性剂；有机掺杂

（）中图分类号：ＴＢ３８３　　　文献标识码：Ａ．００８－６７８１２０１３０３－００６９－０５　文章编号：１

／ＴＨＥＰｒｅａｒａｔｉｏｎａｎｄＯｔｉｃａｌＰｒｏｅｒｔｉｅｓｏｆＴｉＯＳｉＯｏｍｏｓｉｔｅＦｉｌｍ　　　　　　　２２Ｃｐｐｐｐ

ＺＨＵ　Ｙｏｎ－ａｎｇ

（，，，，）ＣｏｌｌｅｅｏｆＭａｔｈｅｍａｔｉｃｓＰｈｓｉｃｓａｎｄＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎＪｉａｘｉｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔＪｉａｘｉｎＺｈｅｉａｎ３１４００１　　　　　ｇｙｇｇｇｙｇｊｇ　　

：／ＡｂｓｔｒａｃｔＴｉＯＳｉＯｏｍｏｓｉｔｅｆｉｌｍｓｗａｓｂｓｏｌ－ｇｅｌｍｅｔｈｏｄ．ＩＲ、ＵＶ－ＶＩＳ－ＮＩＲｓｅｃｔｒｏｈｏｒｅａｒｅｄ　　　　　　－ｐｙｐｐｐｐ２２ｃ　

ｒｏｅｒｔｉｅｓｔｏｍｅｔｅｒａｎｄＥＬＬＩＰａｒｅｕｓｅｄｔｏｃｈａｔａｃｔｅｒｉｚｅｔｈｅｏｔｉｃａｌａｎｄｓｕｒｆａｃｅｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｏｆｔｈｅｆｉｌｍ．ａｎｄ　　　　　　　　　　　　　　　ｐｐｐ

，ｒｅａｒａｓｅｃｔｒｏｈｏｔｏｍｅｔｅｒｍｅｔｈｏｄｔｈｅｅｘｅｒｉｍｅｎｔａｌｒｅｓｕｌｔｓｗｅｒｅｍｅａｓｕｒｅｄｓｔｕｄｉｅｄｕｎｄｅｒｌａｂｏｒａｔｏｒｃｏｎｄｉｔｉｏｎ　　　　　　　　　－ｐｐｐｐｐｙ　

／，ｔｉｏｎｏｆＴｉＯＳｉＯｏｍｏｓｉｔｅｆｉｌｍ．Ｉｔｈａｓｂｅｅｎｗｉｔｈｖａｒｉａｂｌｅｒｅｆｒａｃｔｉｖｅｉｎｄｅｘｏｆｓｏｌｔｈｅｄｅｏｓｉｔｉｏｎｏｆｒｅａｒｅｄ　　　　　　　　　　　　　　ｐｐｐｐ２２ｃ

，ＳｉＯｈｉｎｆｉｌｍｓｒｅｆｒａｃｔｉｖｅｉｎｄｅｘｉｎ１．１８～１．４１ｂｅｔｗｅｅｎａｄｕｓｔａｂｌｅＴｉＯｉｌｍｒｅｆｒａｃｔｉｖｅｉｎｄｅｘｉｎ１．８０～２．２０ｂｅ　　　　　　　　　　－ｊ２ｔ２ｆ

，，，ｔｗｅｅｎａｄｕｓｔａｂｌｅ．ＢｅｌｌｉｓｏｍｅｔｅｒｉｎｆｒａｒｅｄｓｅｃｔｒｏｈｏｔｏｍｅｔｅｒＵＶ－ｖｉｓｉｂｌｅｓｅｃｔｒｏｈｏｔｏｍｅｔｅｒｒｏｅｒｔｉｅｓｏｆｔｈｅ　　　　　ｊｙｐｐｐｐｐｐｐ　

／ｆｉｌｍ　ｗｅｒｅｓｔｕｄｉｅｄ．ＴｈｅｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｅｘｅｒｉｍｅｎｔａｌｃｏｎｄｉｔｉｏｎｓａｂｏｕｔｒｅａｒａｔｉｏｎｏｆＴｉＯＳｉＯｃｏｍｏｓｉｔｅ　　　　　　　　　　　ｐｐｐｐ２２

ｃｏｍｏｓｉｔｅｆｉｌｍａｒｅｖｅｒｉｍｏｒｔａｎｔ．　　　ｐｙｐ　

：；；；Ｋｅｗｏｒｄｓｓｏｌ－ｇｅｌｔｉｔａｎｉｕｍ－ｓｉｌｉｃａｄｉｏｘｉｄｅｃｏｍｏｓｉｔｅｆｉｌｍｓｓｕｒｆａｃｔａｎｔｏｒａｎｉｃ－ｄｏｉｎ　　　ｐｇｐｇｙ　

／ＳｉＯｉＯｉＯＳｉＯ２、Ｔ２以及它们的复合体系Ｔ２２，因其化学性能稳定、光学性能优良、折射率可调节

［１］等优点在光学和微电子学等领域得到广泛的应用，如高反射膜、增透膜以及光波导薄膜等．制备的

、化学气相沉积法（、离子交换法、溶胶－凝胶法、Ｌ方法有火焰沉淀法（ＦＨＤ）ＣＶＤ）Ｂ膜技术、分

［２］子束外延生长法（这些方法各有其优缺点，溶胶－凝胶法因其制备设备简单、化学计量ＭＢＥ）等．

可控、制备样品纯度高、成本低、易操作等优点，被广泛地应用于纳米薄膜的制备中．

采用溶胶－凝胶工艺制备各种材料已经在许多领域获得良好进展，并有更多的科学研究人员从事和关注着溶胶－凝胶法在涂膜方面的应用和发展．溶胶－凝胶镀膜具有制备过程在常温常压下进行、薄膜的厚度很容易控制、薄膜的纯度高、制备费用低、所需镀膜设备相对较为廉价、易实现大面积镀

［３］膜、镀膜过程易向工业化转化等优点．近年来，电磁波在人工周期性介质材料中的行为越来越受到

收稿日期：２０１２－１２－１４

，作者简介：朱永安（男，江西吉安人，嘉兴学院数理与信息工程学院实验师，硕士，主要研究纳米功能材料．１９７７－　）

：／／／／／网络出版时间：２０１３－０４－１０１７：０８　网络出版地址：ｈｔｔｗｗｗ．ｃｎｋｉ．ｎｅｔｋｃｍｓｄｅｔａｉｌ３３．１２７３．Ｚ．２０１３０４１０．１７０８．０１０．ｈｔｍｌ　ｐ