第2章 表面工程技术的物理、化学基础(6)

表面工程

在高洁净度的表面上可以发生多种与体内不 同的结构和成分的变化： 驰豫；重构；台阶化； 偏析和吸附 清洁表面：指经过清洗(脱脂，浸湿)以 清洁表面：指经过清洗(脱脂，浸湿)以 后 的表面。 在获得的各种涂层或镀膜之前，常需采用 各种予处理工艺获得清洁表面； 微电子工业中气相沉积和微细加工则需要 洁净表面或超洁净表面指表面附近的点阵常数在垂直 台阶化是指实际晶体的外 是指化学组分在 指表面原子在水平方向的周期性不 表面区的变化。 方向上教晶体内部发生明显的

表面由许多密排面的台阶 表面区的变化。 同于体内的晶面。 同于体内的晶面。 变化。 变化。 构成