磁芯螺线管微电感的计算机模拟
第11期
郭绍寅,等:磁芯螺线管微电感的计算机模拟
口、舯和产,分别为磁芯材料的电导率、真空磁导率和相对磁导率.
解方程(5),代人边界条件H。。求得
“炉警=以嵩
蹦y)=巩高卷知
其中:H;(,)为H。沿y方向的分布函数;,,(y)为电流密度,,沿y方向的分布函数.
由于绝缘材料的磁导率很小,忽略绝缘材料的磁场(即介于磁芯和线圈之间的部分),由积分算得螺线管截面上的磁通量:
垂邓肚匕删y
(6)
将式(6)代人式(4),根据电感的定义,得
Lm(舻Ldc争兰釜摹∽“cosh≥+cos导
对J,在y方向积分,可以得到涡流损耗:
P。一玎√2
J,Jz曲
(8)
由P。=12R。,代人L“,可得交流载荷下磁芯的
等效电阻:
蹦胪也磬豢蔫㈣
对于微电感的寄生电容e,主要存在于3个方面oJ:同层导线间的耦合电容c,、线圈导线与磁芯问的耦合电容c:以及四周导线层间的耦合电容
G.
同层线圈匝问电容c-由电容计算公式可得
cl=(N一1)£。eHf生粤+
笠鳖攀兰堕土业+塾血](10)
式中.£0和e,。分别为真空和绝缘材料的介电常数}其他参数同前.式(10)中括号第1项来自顶层导线匝间的电容,第2项来自底层导线匝间的电容,第3项来自支柱导线匝间的电容.
线圈与磁芯之间电容为
C2一竺鱼掣+竺鱼掣
(11)
式中:凼和也分别为上层线圈和支柱与磁芯问的距离;其他参数同前.
c3相对C,、c2很小,可以忽略,故整个微电感的寄生电容c|一cl+G.
万
方数据3模拟结果及分析
本文模拟的微电感磁芯宽度为800“m,磁芯长
度8840pm,导线宽度20卜m,导线间距35Pm,支
柱高度55pm,导线长度980pm.模拟微电感的电感量和品质因子模拟结果与实验测量值的比较如图
3所示.
,,MHz(b)曲厦凼于
罔3模拟结果与实验测最值的比较图
Fig.3(二ompa“sonofthecalculatedthe
andtheexperimentalresults
由图3(a)可见,模拟值的曲线特征与实验测量值随频率,的变化一致,即随着磁芯厚度f。的增大,电感量L增大,且随着工作频率,的上升,同一磁芯螺线管微电感的L下降.由图3(b)呵见,随着£。的增大,趋肤教应变得明显,各厚度的磁芯螺线管微电感的品质因子Q的模拟值和实验值均减小,且达到最大Q值的,降低.当,>5MHz时,模拟值与实验值误差相对较大.
模拟结果和实验结果差别的主要原因如下:
(1)理论推导过程假设的是理想情况,在实际电感中并不完全成立,由于磁芯内部磁场强度存在不均匀性,线圈存在漏磁;
(2)实际制备工艺存在误差,如电镀时厚度误差,电镀时电流分布不均也会造成磁芯厚度的不均