第九讲：真空系统组成元件(6)

2．真空阀门的几种典型结构

(1)隔膜阀

隔膜式真空阀是利用阀杆将弹性体薄膜紧压在阀座上用来隔断气路。如图3所示，转动手轮可带动阀杆上、下移动，使隔膜离开阀座打开阀门或使隔膜紧压在阀座上关闭阀门。此种阀门如采用丁晴橡胶隔膜，适用于前级和预抽管道上及温度为-25～80℃的非腐蚀性气体。如采用氟橡胶隔膜，可用于高真空系统，使用温度范围为-30～150℃。

(2)真空球阀

图4所示是真空球阀的结构，该阀中的密封机构是由两个环状弹性体紧压于一个金属球表面构成。金属球上有一个大穿孔，借助于手柄转动金属球使穿孔改变方向，即可接通或切断气路。金属球轴杆与阀体间的密封采用O形密封圈密封。

(3)真空蝶阀

蝶阀的结构比较简单，如图5所示。阀板的边缘上嵌有O形密封圈，阀板靠螺栓固定在传动轴阀杆上，使阀杆带动阀板转动，当阀板上的密封圈与阀体紧密接触时即实现了阀门的关闭，从关闭位置、阀板再转动90时，阀门即完全打开，该种阀门的主要优点是体积小。结构简单。

(4)插板阀

图6和图7是插板阀的两种结构型式。弹性体密封圈是嵌在阀体上。转动手柄即可打开或关闭阀门。图6的插板阀关闭时是靠限位块的斜面压紧阀盖，进而压紧密封圈。图7的插板阀是靠链板压紧实现阀口密封。

(5)挡板阀

图8是一种挡板阀的结构。该阀通过阀盖的开启和压下来实现管路的接通和截止。图中，压板23使阀口密封圈24固定于阀盖上。压板2将阀杆3与阀盖连为一体。上盖20与阀体22由密封圈21密封。压帽5和7分别压紧密封圈4和8，实现动密封。气缸盖11压紧密封圈lO，使气缸16上部密封。气缸与气缸座17，通过密封圈9密封。注油管18注入扩散泵油，以减小摩擦并帮助密封。进气管接头12。从空气压缩机来压缩空气首先通过加油器19，从加油器中出来的气体含有一定的油，再进入换向阀6，最后进入气缸，一方面润滑换向阀中的活塞，另一方面，防止气缸内表面生锈。换向阀控制气源进入气缸上下部。密封垫片13、活塞胶圈14、活塞15，将气缸分为两部分移动于气缸之中，从而控制阀门的开闭。

图9、10、11是三种，不同结构的真空翻板阀。它们都是用压缩空气为动力源。在阀门打开或关闭的过程中，阀板的运动有一个翻转过程。能翻转一个角度。在图10的结构中，靠滚轮将阀盖挡翻，在这种结构的阀门中，阀盖不能翻转90。图9的结构，阀盖的翻转靠四连杆机构实现，阀盖能实现90翻转。图11的翻板阀是蚌线机构。这种阀门结构简单，总高度低，阀板能翻转90，是我国1971年首创的。在翻板阀中，阀板翻转90时，流导较大。

(7)电磁阀

真空阀门的驱动方式为磁力驱动的即为电磁阀。电磁真空阀的密封机构与挡板阀相同，如图12所示。平时，电磁阀的阀盖靠弹簧压紧封住管路通道，需要开启时，将电磁线圈接通电流，磁力即吸引衔铁，带动阀盖，将阀门打开。有的电磁真空阀设计成带充气的。称为电磁真空带充气阀，是专门安装在油封式机械泵入口管路上的专用阀门。阀门与泵接在同一电源上，泵的启动与停止直接控制了阀的开启与关闭。当泵停止工作或电源突然中断时，阀能自动将真空管路封闭，并将大气通过泵的进气口充入泵腔，避免泵油返流污染真空系统。

(8)针阀

图13是一个超高真空针阀。针阀是一种微调阀，其阀塞为针形，主要用作调节气流量。微调阀要求阀口开启逐渐变大，从关闭到开启最大能连续细微地调节。针形阀塞即能实现这种功能。针形阀塞一般用经过淬火的钢制长针，而阀座是用锡、铜等软质材料制成。阀针与阀座问的密封是依靠其锥面紧密配合达到的。阀针的锥度有1：50和6锥角两种，锥表面要经过精细研磨。oooooO