TFT-LCD学习总结(5)

Array制造中的主要技术之一。

干式刻蚀通常指利用辉光放电（glow discharge）方式，产生包含离子、电子等带电粒子以及具有高度化学活性的中性原子、分子及自由基的电浆，来进行图案转印（pattern transfer）的刻蚀技术。干法刻蚀是亚微米尺寸下刻蚀器件的最主要方法，广泛应用于半导体或LCD前段制程。干法刻蚀工艺流程

玻璃基板的基本流程：玻璃基板（Glass Panel）先存放在S/R中，通过机械手经由A/A传送到L/L，然后到T/C，接着基板被分配到各个P/C中去进行等离子体刻蚀处理。在刻蚀过程中由EPD装置确定刻蚀的终点，如果达到刻蚀终点，则停止刻蚀，基板经由原来的路径传送到设备外进行下一段工序。

干刻设备的主要的组成部分

玻璃基板在干刻工序的整个流程中，处于工艺腔（P/C）才是真正进行刻蚀，其他的动作只是基板从设备外大气状态下传送到工艺腔（真空状态）以及刻蚀前后进行的一些辅助程序。所以整个干法刻蚀设备的核心部分是工艺腔。基板置于工艺腔后，刻蚀气体由MFC控制供给到工艺腔内，利用RF发生器产生等离子体，等离子体中的阳离子和自由基对需要刻蚀的薄膜进行物理和化学的反应，膜的表面被刻蚀，得到所需的图形，挥发性的生成物通过管道由真空系统抽走。整个刻蚀过程就是这样的。通过控制压力，RF功率，气体流量，温度等条件使得等离子体刻蚀能顺利进行。