208960-Z9 敞开式直线光栅尺(12)

坚固耐磨的光栅尺

敞开式直线光栅尺的自身特点是其测量基准的抗污染能力较低。 为此，海德汉公司采用独特工艺生产非常坚固耐磨的光栅。DIADUR工艺是将硬铬线刻在玻璃或钢基体上。

OPTODUR和SUPRADUR工艺是在主反射层上加一层透光层。超细、坚硬的镀铬层形成三维光学相位光栅。采用成像扫描原理的METALLUR光栅的结构也非常类似。在反光的金层上覆盖薄薄一层玻璃。 在该层的铬线只有数纳米深，半透明和起减振作用。 实践证明OPTODUR-，SUPRADUR或METALLUR工艺生产的测量基准抗污能力非常强，由于其刻线高度小，灰尘、污物或水滴难以留在其表面上，使这种测量基准的抗污染能力非常出众。

面向应用的安装公差

信号周期越小一般也要求光栅尺和扫描光栅间的安装公差越小。这是光栅的衍射作用造成的。 只要间隙变化±0.1 mm，信号将衰减50%。 但由于在光栅尺中采用了干涉扫描原理和创新的扫描掩膜技术以及成像扫描原理，即使很小的信号周期也能允许较大安装公差。

海德汉公司的敞开式直线光栅尺的安装误差只对输出信号有轻微影响。 特别是光栅尺与读数头间要求的公差（扫描间隙）对信号幅值影响极小。 这是为什么海德汉公司的敞开式直线光栅尺具有高可靠性的原因。 通过这两幅图可看出LIDA 400和LIF 400系列光栅尺扫描间隙与信号幅值间关系。

OPTODURSUPRADUR

METALLUR