208960-Z9 敞开式直线光栅尺(7)

光电扫描

大多数海德汉公司光栅尺或编码器都用光电扫描原理。对测量基准的光电扫描为非接触扫描，因此无磨损。这种光电扫描方法能检测到非常细的线条，通常不超过几微米宽，而且能生成信号周期很小的输出信号。

测量基准的栅距越小，光电扫描的衍射现象越严重。 海德汉公司的直线光栅尺采用两种扫描原理：

成像扫描原理用于10 µm至200 µm的栅距。

干涉扫描原理用于4 µm甚至更小栅距的光栅。

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成像扫描原理

简单地说成像扫描原理是用透射光生成信号： 两个具有相同或相近栅距的光栅尺光栅和扫描光栅彼此相对运动。 扫描掩膜的基体是透明的，而作为测量基准的光栅尺可以是透明的也可以是反射的。

当平行光穿过一个光栅时，在一定距离处形成明/暗区。具有相同或相近栅距的扫描光栅就在这个位置处。当两个光栅相对运动时，穿过光栅尺的光得到调制。如果狭缝对齐，则光线穿过。 如果一个光栅的刻线与另一个光栅的狭缝对齐，光线无法通过。光电池将这些光强变化转化成电信号。 特殊结构的扫描掩膜将光强调制为近正弦输出信号。栅距越小，扫描光栅和光栅尺间的间距越小，公差越严。如果成像扫描编码器的栅距为10 µm或更大，编码器的安装公差相对宽松。

LIC和LIDA系列直线光栅尺为成像扫描。

基于成像扫描原理的钢带光栅尺的光电扫描和单场扫描（LIDA 400）