208960-Z9 敞开式直线光栅尺(9)

测量精度

直线测量精度主要由以下因素决定 光栅质量 扫描质量，

信号处理电路质量，

光栅尺相对读数头的方向误差。需要明确区分两种不同精度，一个是大行程上的（例如全量程）的位置测量误差，另一个是单信号周期内的位置测量误差。测量长度上的位置误差

敞开式直线光栅尺精度用精度等级表示，其定义为：

在任何最长不超过1米的测量长度上总误差F（相对其误差平均值）的极值不超过精度等级±a。

对敞开式直线光栅尺，以上定义的精度等级只适用于长光栅。因此，它称为光栅尺精度。

单信号周期内位置误差

单信号周期内的位置误差取决于扫描质量和光栅尺或编码器单信号周期大小。 海德汉公司的敞开式直线光栅尺在整个测量长度的任何位置处都优于一个信号周期的±1 %。

信号周期越小，单信号周期内的位置误差也越小。

这对定位运动精度和慢速运动以及轴传动运动期间的速度控制非常重要。

扫描信号的信号周期单信号周期内的典型位置误差 uLIP 3x20.128 µm± 0.001 µmLIP 2810.512 µm± 0.001 µmLIP 4x12 µm± 0.02 µmLIP 5x1 4 µm

± 0.04 µmLIF, PP

LIC 40xx–± 0.08 µmLIDA 4xx20 µm± 0.2 µmLIDA 2xx200 µm

± 2 µm

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