洁净室施工程序(3)

本程序所述内容，均为操作人员在半导体高纯管道项目施工过程当中，尤其是在客户洁净厂房中和移动洁净房内施工作业时必须遵守的内容。

制订此程序的目的在于，使在客户洁净厂房和移动洁净房中施工的操作人员，能了解洁净厂房施工过程中的注意事项，从而严格遵守执行，以保证每一个施工环节的质量，进而保证整个工 程的质量。

本程序适用于洁净房净化系统开始启动，设备开始运转，并能保持相应的净化等级。

人是洁净室最主要的污染源，人散发的污染物分自身产生和人体携带两种。自身产生的污染物包括：体表脱落物和体表 呼吸排出物。例如：每人每天大约脱落1000万个屑粒； 人吸烟20分外后，随呼吸排出的烟尘粒子，可使周围污染程度比正常情况增加2—5倍。人体 携带的污染物有三种：一种是附在头发、衣服鞋子上的污染物；一种是人体表的涂抹物；第 三种是服装磨损的脱落物。例如：着旧棉织品服装，静止状态下每人每分钟平均产尘为106个，因此，人员进入洁净厂房以前必须采取严格的人身净化措施 。

人身净化的方法主要有：洗涤、更衣、换鞋、吹淋和对作业人员进行培训教育建立必要 的规章制度等。

洗涤：用水洗去手、脸乃至全身体表附着的灰尘、微生物以及积存在体表的排出物。 更衣：为了减少人体的污染，进入洁净室以前应首先脱去外出服以及多毛的内衣，换上 适合洁净室工作的洁净工作服。

换鞋：外出鞋污染物最多，需在入口处用水洗吸尘和粘着的办法处理以免沾污门厅入口。 进入洁净区前应换上适合洁净室穿的洁净鞋

空气吹淋：用25m/s以上的高速洁净空气吹扫全身服装和裸露体表上的附着物。经过 吹淋后方能选入洁净室。