SAP003-14M(14A-13C)电浆设备_操作手册V_1.0(10)

第四章 安裝及接線1. 小心安裝 避免機器掉落或撞凹 安裝後確認是否牢牢固定 2. 請依照手冊步驟接線 防止接錯或沒接安裝說明注意事項 電漿點火 移動及旋轉載台時 1. 點火位置須在面板之外 20mm 處 2. 電漿照射面板前需提前 2 秒點電漿讓電漿穩定 1. PANEL 移動與旋轉時應避免面板直接照射到電漿 600mm600mm600mm600mm 照射部 (1) 連接座必須可以調整照射部 上下左右之移動 往上調整往 左 調 整往 右 調 整往下調整Creating Nano Technologies 59 Alley 21 Lane 279 Chung Cheng Road Yung Kang City Tainan TAIWAN 710 第 9 頁，共 30 頁 TEL: +886-6-2323927 FAX:+886-6-3013155 版本 1.0 URL: E-Mail: cnt.nano@ 更新日期: 2011-11-24