【REMOTE 控制：電漿異常訊號輸出】Pin8： Plasma Error 的輸出訊號。 SAP003 Pin16 USER 0VPin8 Plasma Error Fig3.6Example： Pin=0Vdc，Plasma Error。 Pin=+24Vdc，Plasma OK。___________【REMOTE 控制：流量異常訊號輸出】Pin9： MFC Error 的輸出訊號。 SAP003 Pin16 USER 0VPin9MFC ErrorExample： Pin=0Vdc，MFC Error。 Pin=+24Vdc，MFC OK。Fig3.7___________Creating Nano Technologies 59 Alley 21 Lane 279 Chung Cheng Road Yung Kang City Tainan TAIWAN 710 第 15 頁，共 30 頁 TEL: +886-6-2323927 FAX:+886-6-3013155 版本 1.0 URL: E-Mail: cnt.nano@ 更新日期: 2011-11-24
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