SAP003-14M(14A-13C)电浆设备_操作手册V_1.0(21)

壓力顯示器 顯示目前氣體壓 力 設定上限 : 4.9Kgf/cm2 設定下限 : 3.5Kgf/cm2 出廠設定值 : 4.2Kgf/cm2氣體壓力設定 調壓閥 調整氣體壓力 操作方法: 先往外拉調整到適 當的壓力後再壓進去固定 壓 力表會顯示出調整的壓力功率顯示器=> 顯示目前電漿功率值電漿功率設定 功率調節鈕 調整電漿功率值 出廠設定值 100% (往上扳鬆開 可做調整) (往下扳緊閉 不可做調整) 注意 : 此參數出廠校正後請勿 任意調整Creating Nano Technologies 59 Alley 21 Lane 279 Chung Cheng Road Yung Kang City Tainan TAIWAN 710 第 20 頁，共 30 頁 TEL: +886-6-2323927 FAX:+886-6-3013155 版本 1.0 URL: E-Mail: cnt.nano@ 更新日期: 2011-11-24