溅镀机的冷却装置

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）实用新型专利

（10）申请公布号

CN201031253Y

（43）申请公布日2008.03.05（21）申请号CN200720141078.0

（22）申请日2007.03.26

（71）申请人建铯科技股份有限公司

地址中国台湾台中县

（72）发明人赖翠仙

（74）专利代理机构北京天平专利商标代理有限公司

代理人孙刚

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（54）发明名称

溅镀机的冷却装置

（57）摘要

一种溅镀机的冷却装置，系针对于溅

镀过程易累积高温，造成变形与不良品问

题，特于输送带结构或/及防着板结构的异于

溅镀区方向，锁设可拆离的冷却装置，冷却

装置可为水冷、液冷或热管冷却等，以冷却

装置降低高温，从而，可使制程速度减缓，

制程长度也可缩短，良率也可提升。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

2008-03-05授权授权

2011-08-24专利申请权、专利权的转移专利申请权、专利权的转移