JJG 010-1996 分析型扫描电子显微镜检定规程(2)

道分析器、计算机以及显示器和打印机等组成。因此，分析型扫描电子显微镜是在常规扫描电镜的基础上增加了X射线的检测、放大、显示、记录、校正和计算等装置。

3 计量单位

计数率 用检测器中每秒钟的计数CPS(Count Per Second)来表示，单位为s1。

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4 计量要求

4.1 扫描电镜技术指标

新安装的各种扫描电镜应符合说明书中规定的技术指标。

使用中和修理后的各种扫描电镜应符合本规程表1中规定的技术指标。

表1 各种扫描电镜的主要性能和技术指标

扫描电镜类型 热发射普通型 热发射精密型 场发射精密型 电子枪类型 钨丝电子枪 钨丝或六硼化镧 场发射电子枪

工作真空度Pa～10Pa

仪器启动抽真空时间

更换样品抽真空时间

续表

扫描电镜类型

更换灯丝抽真空时间 放大倍数示值误差 放大倍数重复性 显像管中心与 边缘倍率误差 二次电子图像分辨率 X射线泄漏剂量

热发射普通型 热发射精密型 场发射精密型

不大于±10％ 不大于±10％ 不大于±10％ 不大于5％ 不大于5％ 不大于5％

15％％％ 优于10nm 不大于2.5μSv

优于6nm 不大于2.5μSv

优于2.5nm 不大于2.5μSv

4.2 X射线能谱仪技术指标

新安装的各种X射线能谱仪应符合说明书中规定的技术指标。 使用中和修理后的各种X射线能谱仪应符合下列技术指标。 X射线能谱谱线分辨率：155eV～133eV 元素分析范围：Na11～U92(铍膜窗口)

C6～U92(超薄窗口)

B5～U92(极超薄窗口、氮化硼窗口或铍膜切换窗口)

5 技术要求

5.1 外观要求

5.1.1 仪器无影响计量性能的损伤，面板上标志清晰；标明仪器名称、型号、生产厂名、制造日期和出厂编号。

5.1.2 仪器平稳地置于地基上，装配牢固，各个调节旋钮、按钮和开关均能正常工作，无松动现象。导线接头应有标记，结合紧密，接触良好。 5.2 安装条件

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5.2.1 杂散磁通量密度不超过5×107T。 5.2.2 地基振幅不超过5μm。