JJG 010-1996 分析型扫描电子显微镜检定规程(4)

LM＝－－－ (1)

L0

式中 L0——标样上标记线的间距。

6.3.5 按公式(2)计算放大倍数的示值误差P：

N－M－－－ － (2) P＝ －―M

式中 N——被检扫描电镜放大倍数的标称值。

用间距为1μm的光栅检定5万倍以上的放大倍数有困难。在这种情况下需要使用比对性标样，其标定方法见附录A(JJG 550—88附录1)。 6.4 放大倍数重复性的测定

6.4.1 选取某个常用的放大倍数，按6.3.2步骤拍摄一张标样标记线的照片。

6.4.2 改变电子束的加速电压和透镜电流，5分钟后恢复到6.4.1照相时状态，再拍摄一张照片。如此重复，共拍摄10张照片。并按6.3.3和6.3.4步骤测量，计算出10个放大倍数。 6.4.3 按公式(3)计算出放大倍数的重复性g。

g＝－

M

3σ

(3)

式中 Mi——第i次测量得到的放大倍数(i＝1，2，3，…，10)；

－ ——10次所得放大倍数的平均值；

M

σ——标准偏差，σ＝n——测量次数(n＝6.5 显像管中心与四角边缘处倍率误差的测定

6.5.1 选定扫描电镜的放大倍数为100倍。将金属网格安装在样品台上，获得图像后选取一个网孔，分别平移到显像管的中心和四个角，各拍一张照片。 6.5.2 用比长仪分别测量出5张照片上网孔像相邻两边的长度为

x0，y0；x1，y1； x2，y2； x3，y3； x4，y4； △xi＝xi－x0， △yi＝yi－y0。 式中i＝1，2，3，4； △xi中的最大值为△xmax；△yi中的最大值为△ymax。 6.5.3 按公式(4)计算求得x方向图像线性失真度α

α＝

Δxmax

x0 Δymaxy0

(4)

6.5.4 按公式(5)计算求得y方向图像线性失真度β

β＝

6.6 二次电子图像分辨率的测定

(5)

6.6.1 将碳表面喷镀金粒的标样安装在样品台上，在6～10万倍下，使扫描电镜调整到最佳工作状态，拍摄金粒的二次电子图像。

6.6.2 用比长仪测量照片上可分辨的金粒边界的最小间距S(nm)。 6.6.3 按公式(6)计算求得扫描电镜的分辨率r。

Sr＝— (6) M

6.7 X射线能谱谱线分辨率的测定