JJG 010-1996 分析型扫描电子显微镜检定规程(3)

5.2.3 电源电压为220V±20V，频率为50Hz，具有独立的接地线，并接地良好。 5.2.4 冷却水流量不低于21/min，压力不低于5×104Pa，水温为20℃±5℃。 5.3 检定环境

5.3.1 室内温度为20℃±5℃。 5.3.2 相对湿度不超过70％。 5.4 检定用标样及设备

5.4.1 检定扫描电镜放大倍数的标样可选用间距为1μm的美国国家标准和技术研究院(原称国家标准局)的标样或我国制备每毫米1000条线的物理光栅，其相对误差不大于±3％。 5.4.2 检定分辨率的标样为碳表面真空喷镀金颗粒制成的样品。 5.4.3 电离真空计的示值相对误差不大于±20％。 5.4.4 X射线剂量仪的示值相对误差不大于±20％。 5.4.5 比长仪的标准尺误差不大于1μm。

5.4.6 检定图像的线性失真度的非磁性金属网格方孔边长为0.1mm。

5.4.7 检定X射线能谱谱线分辨率的标样为纯锰或电解锰的标样或者放射性的Fo55标样。 5.4.8 检定X射线能谱仪元素分析范围的标样为分别含Na、C、B的标样。 5.5 检定项目 5.5.1 直观检定 5.5.2 真空度的测定

5.5.3 放大倍数示值误差的测定 5.5.4 放大倍数重复性的测定

5.5.5 显像管中心与四角边缘处倍率误差的测定 5.5.6 二次电子图像分辨率的测定 5.5.7 X射线能谱谱线分辨率的测定 5.5.8 X射线能谱仪元素分析范围的测定 5.5.9 X射线泄漏剂量的测定

6 检定方法和检定报告

6.1 直观检定

用目力观察，应符合本规程3.2.1和3.2.2的要求。 6.2 真空度的测定

6.2.1 原则上应使用电离真空计测量真空度。如果二次电子图像分辨率的技术指标符合要求，仪器工作正常，可认为真空度已达到技术要求。 6.2.2 仪器从启动至达到工作真空度所需时间的测定。

关机4小时后重新启动，开始计算时间，达到工作真空度时，结束记时。 6.2.3 更换样品或更换灯丝后达到工作真空度所需时间的测定。

更换样品或灯丝后，从预抽真空开始计算时间，达到工作真空度结束记时。 6.3 放大倍数示值误差的测定

6.3.1 在扫描电镜标称的放大倍数范围内选取常用的5档放大倍数。 6.3.2 将测定放大倍数的标样安装在样品台上，使其表面垂直于电子光学系统的轴线，并调整到仪器说明书规定的工作距离位置上，将标样上标记线的像移至显像管的中心，聚焦后照相记录。

6.3.3 用比长仪测量标记线像的间距L(μm)，连续测量3次，取算术平均值(μm)。 6.3.4 按公式(1)计算放大倍数M：